請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀本說明書,并妥善保存,以備日后維護(hù)時(shí)參考 ?。
1-1 風(fēng)機(jī)過濾器單元
風(fēng)機(jī)過濾器單元(FFU )是一種 自帶動(dòng)力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝 置 。
風(fēng)機(jī)從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng) HEPA 過濾,過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè) 。
● 使用環(huán)境
?周圍溫度:5℃~40℃
?濕度:低于 85%RH(沒有濕氣凝結(jié)狀態(tài)下)
?周圍空氣:一般室內(nèi)空氣
?清凈度:100-10 級(jí)
?請(qǐng)避免連續(xù)反復(fù) ON/OFF 操作機(jī)體
如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組,將會(huì)影響制品性能,并可能會(huì)發(fā)生電氣短路現(xiàn)象,造成電氣部件損壞,縮短制品使用壽命。為能安全且有效地使用風(fēng)機(jī)過濾器單元請(qǐng)參閱第 4 頁的〝重要安全事項(xiàng)〞。
(1) 主要部件
1 2-1 安裝使用環(huán)境
● 風(fēng)機(jī)過濾器單元的安裝應(yīng)遠(yuǎn)離加熱器、火爐或其它熱源。
● 設(shè)置風(fēng)機(jī)過濾器單元場所不可放置易燃物,以免發(fā)生火災(zāi)。
● 請(qǐng)勿在機(jī)體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學(xué)物品,如果機(jī)體吸入這些化學(xué)物品將有可能會(huì)導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸等事故發(fā)生。
● 請(qǐng)勿于機(jī)體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學(xué)藥品,如果使用這些化學(xué)藥品將有可能會(huì)導(dǎo)致機(jī)體腐蝕及損壞。
2 2-2 運(yùn)送與安裝
● 請(qǐng)?jiān)陲L(fēng)機(jī)過濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運(yùn)制品,搬運(yùn)時(shí)務(wù)必保持水平,如果使用輕便推車等工具運(yùn)送時(shí),請(qǐng)選用車臺(tái)超過機(jī)體包裝寬度的推車。
● 機(jī)體安裝后,機(jī)體上方至少須預(yù)留 30 公分以上的空間,以利將來機(jī)體維修,未預(yù)留足夠的維修空間,機(jī)體將無法進(jìn)行維修及部件更換。
● 試運(yùn)轉(zhuǎn)前,請(qǐng)先拆除吸入口上及均流板下附著的保護(hù)膜。
3 2-3 安裝 ? 使用注意事項(xiàng)
● 風(fēng)機(jī)過濾器單元安裝于無塵室時(shí),請(qǐng)務(wù)必遵守下列指示
● 當(dāng)進(jìn)入無塵室時(shí)
請(qǐng)穿著防塵衣以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。
請(qǐng)以酒精清理工具以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。
請(qǐng)以酒精清理衣柜未保護(hù)處以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。
點(diǎn)檢時(shí)請(qǐng)使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。
● 切勿直接重壓風(fēng)機(jī)過濾器單元機(jī)體,以免造成機(jī)體變形。
● 請(qǐng)勿以沾濕的手操作機(jī)體,以免發(fā)生觸電危險(xiǎn)。
● 請(qǐng)勿遮蔽機(jī)體吸入口及吹出口,機(jī)體吸入口及吹出口被遮蔽,將導(dǎo)致機(jī)體性能無法正常發(fā)揮,造成機(jī)體功能異?;螂姎獠考p壞。
● 實(shí)施第三種接地工事,以避免電擊產(chǎn)生之危險(xiǎn)。
. 2. 重要安全事項(xiàng)
3-1 1 1 1 運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查事項(xiàng)
運(yùn)轉(zhuǎn)前請(qǐng)先檢查下列注意事項(xiàng):
● 機(jī)體外部電源是否連接,電源供應(yīng)是否妥當(dāng)。
● 機(jī)體接地工事是否已實(shí)施。
● 機(jī)體上方空氣吸入口及下方濾網(wǎng)的保護(hù)膜是否已取下。
3-2 2 2 2 運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)注意事項(xiàng)
(1) 開始運(yùn)轉(zhuǎn)
● 當(dāng)電源開啟后,機(jī)體即開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
● 機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)后請(qǐng)確認(rèn)是否有異?,F(xiàn)象。
當(dāng)有下列情形發(fā)生,機(jī)體無法正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),請(qǐng)向經(jīng)銷服務(wù)人員反映。
● 機(jī)體內(nèi)部有異物,機(jī)體離心風(fēng)扇無法正常旋轉(zhuǎn)。
● 機(jī)體內(nèi)部電線脫落,接頭松脫。
● 機(jī)體內(nèi)部電氣部件,如過電源插頭、馬達(dá)損壞。
(2) 停止運(yùn)轉(zhuǎn)
● 運(yùn)轉(zhuǎn)后如發(fā)現(xiàn)異?,F(xiàn)象,請(qǐng)即切斷電源,停止機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)。
4. 維修 ? 點(diǎn)檢
● 自購買日起進(jìn)行定期檢查,請(qǐng)勿自行檢查,以免造成觸電或火災(zāi)等事故發(fā)生。
● 除了維修人員外,請(qǐng)勿自行拆解、修理或變更規(guī)格,以免造成觸電或火災(zāi)的發(fā)生。
● 當(dāng)更換濾網(wǎng)等部件時(shí),請(qǐng)注意不要損壞濾紙。
● 維修?點(diǎn)檢時(shí),請(qǐng)務(wù)必先切斷電源,停止機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)后再實(shí)施,以免發(fā)生觸電或傷害危險(xiǎn)。
● 當(dāng)安裝?維修?點(diǎn)檢完成后,在機(jī)體起動(dòng)前,請(qǐng)確定機(jī)體基礎(chǔ)穩(wěn)固。
4-1 日常維護(hù)
每天工作開始之前請(qǐng)依表 2.點(diǎn)檢下列各項(xiàng),當(dāng)發(fā)現(xiàn)有不正常的情形,立即切斷電源并采取改正措施。
4-2 定期維護(hù)
使用風(fēng)機(jī)過濾器單元一段時(shí)間后,因使用環(huán)境及使用狀況之差異,為了防止意外及確保風(fēng)機(jī)過濾器單元的正常運(yùn)轉(zhuǎn),請(qǐng)務(wù)必實(shí)施下列定期點(diǎn)檢。
4-2.1 定期維護(hù)
(1)定期維護(hù)項(xiàng)目請(qǐng)依表 3.所示,對(duì)風(fēng)機(jī)過濾器單元實(shí)施定期點(diǎn)檢,當(dāng)部件壽命已至?xí)r,請(qǐng)立即進(jìn)行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命,會(huì)因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。
(2)當(dāng)由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學(xué)藥品的泄 漏 (腐蝕氣體…..等) 意外發(fā)生,
停機(jī)再啟動(dòng)后,請(qǐng)務(wù)必實(shí)施相同的檢查。
3. 定期維護(hù)項(xiàng)目
4.2.2 點(diǎn)檢完成
點(diǎn)檢完成后,清潔工作場所及確認(rèn)風(fēng)機(jī)過濾器單元在正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況;保留點(diǎn)檢報(bào) 告 ,當(dāng)部件更換或機(jī)體更新時(shí)作為參考。
3 4-3 故障排除
?若有以下現(xiàn)象發(fā)生,連絡(luò)本公司并告知機(jī)身編號(hào)、機(jī)型、電壓及不良現(xiàn)象(盡可能詳細(xì)) ,然后慎重的調(diào)查問題的起因及采取適合的改善措施。
● 非服務(wù)技術(shù)人員請(qǐng)勿拆解、修理或修改風(fēng)機(jī)過濾器單元,以避免造成嚴(yán)重的意外,例如觸電或火災(zāi)。
● 當(dāng)需要更換服務(wù)備品時(shí),請(qǐng)務(wù)必依本說明書中表 1.所列之部件名稱提供予服務(wù)人員。
● 任何未經(jīng)認(rèn)可之代用品,不僅可能會(huì)影響風(fēng)機(jī)過濾器單元的性能,同時(shí)可能造成火災(zāi)、觸電或其它危險(xiǎn)。
FFU概念及FFU原理
Fan Filter Unit(風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組)簡稱FFU,是由高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA)、微型風(fēng)機(jī)、殼體組合而成的凈化空調(diào)末端,其用于亂流及層流潔凈室內(nèi)。FFU通常都是與吊頂骨架配合使用,根據(jù)吊頂骨架的不同選擇與之對(duì)應(yīng)的FFU。FFU的潔凈方式可以實(shí)現(xiàn)空氣潔凈度等級(jí)要求在ISO3∽ISO9(即1級(jí)∽100萬級(jí))之間的潔凈室。
常見的潔凈室空氣處理方式有兩種,分別是MAU+AHU+HEPA(以下簡稱AHU系統(tǒng))和MAU+FFU+DC干盤管(以下簡稱FFU系統(tǒng))。通過對(duì)兩種方式的比較得出:FFU在凈化空調(diào)系統(tǒng)中充當(dāng)了凈化循環(huán)機(jī)組,潔凈室的循環(huán)風(fēng)量等于潔凈室內(nèi)FFU的風(fēng)量總和。潔凈室的空氣是由FFU從潔凈天花夾層中送進(jìn)潔凈室內(nèi),并通過回風(fēng)夾道將循環(huán)空氣再送回到天花夾層;循環(huán)空氣在通過回風(fēng)夾道時(shí)與安裝在夾道中的DC干盤管進(jìn)行熱量交換。
附FFU特點(diǎn)及用途
FFU的特點(diǎn):低能耗、低噪音、方便靈活、節(jié)約空間、易安裝。
低能耗:從FFU的組成部件來看,需要消耗能量的只有微型風(fēng)機(jī),而微型風(fēng)機(jī)的功率一般都是在110w∽190w之間,雖然在選用FFU時(shí),初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運(yùn)行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。通常潔凈室的循環(huán)風(fēng)量是很大的,以面積為100m2、潔凈室內(nèi)高為3m、空氣潔凈度等級(jí)要求為ISO6(即1000級(jí))的潔凈室為例:《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范(GB500073—2001)》規(guī)定空氣潔凈等級(jí)為ISO6的潔凈室的換氣次數(shù)為50∽60次/h。我們?cè)谶@里取換氣次數(shù)為55次/h,F(xiàn)FU則總循環(huán)風(fēng)量為16500CMH,補(bǔ)新風(fēng)量我們?nèi)?000CMH。
方案1AHU系統(tǒng)中:MAU的全壓損失為700Pa,功率為2.2kw;AHU的全壓損失為1300Pa,功率為15kw;整個(gè)系統(tǒng)的總功率為17.2kw。
方案2FFU系統(tǒng)中:MAU的全壓損失為800Pa,功率為2.2kw;FFU規(guī)格為1200×600,風(fēng)量1200CMH)有14個(gè),單個(gè)FFU的功率為190W,FFU總功率為2.66kw;整個(gè)系統(tǒng)的總功率為4.86kw。
通過對(duì)方案1、2的功率比較,我們得出一個(gè)結(jié)論:FFU在系統(tǒng)充當(dāng)循環(huán)風(fēng)柜和高效過濾器的集合體,而且其消耗的功率遠(yuǎn)比循環(huán)風(fēng)柜AHU功率的要小,符合現(xiàn)在大力提倡節(jié)約型社會(huì)的主題,并給廠方在節(jié)約生產(chǎn)成本方面找到一個(gè)新的方向。
低噪音:《中戶人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)城市區(qū)域噪聲標(biāo)準(zhǔn)》規(guī)定:工業(yè)區(qū)FFU晝間65db(A)、夜間55db(A)。目前市場上風(fēng)機(jī)的噪音值一般是在65∽90db(A),有的甚至?xí)_(dá)到100db(A) 以上,如果采用AHU系統(tǒng)就很容易噪聲超標(biāo),造成噪聲污染。而FFU的噪音值一般是在45∽55db(A),這樣就不會(huì)擔(dān)心其噪聲會(huì)超標(biāo)。
隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異,尤其是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展,促使?jié)崈艏夹g(shù)的發(fā)展也隨之突飛猛進(jìn),對(duì)FFU的需求也越來越大。本文重點(diǎn)闡述了FFU的特點(diǎn)及控制方式,并結(jié)合現(xiàn)代電子潔凈室對(duì)空氣潔凈度等級(jí)的要求;分析了FFU應(yīng)用在潔凈室中的優(yōu)勢(shì),并介紹了FFU在實(shí)際工程案例中的應(yīng)用。
隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異,尤其是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展,促使?jié)崈艏夹g(shù)的發(fā)展也隨之突飛猛進(jìn)?,F(xiàn)代化工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)和現(xiàn)代化科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。電子計(jì)算機(jī)就是微型化產(chǎn)品中最具代表性的產(chǎn)品之一,電子管到半導(dǎo)體分離器件到集成電路再到超大規(guī)模集成電路。特別是20世紀(jì)80年代大規(guī)模集成電路和超大集成電路的迅速發(fā)展,大大促進(jìn)潔凈技術(shù)的發(fā)展。
]]>美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)-潔凈度等級(jí)對(duì)照表(USA Federal Standard)209E(1992年)
單位:塵埃數(shù)量個(gè)/ft3 ■?中國藥品生產(chǎn)潔凈室(區(qū))-潔凈度等級(jí)對(duì)照表
國家藥品監(jiān)督管理局1999年8月1日發(fā)布實(shí)施
■?潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子-潔凈度等級(jí)對(duì)照表
國家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001 |
附:潔凈室的空氣潔凈度,應(yīng)進(jìn)行下列測(cè)試
(一)空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試
空態(tài)測(cè)試:潔凈室已竣工,凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài),室內(nèi)沒有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。
靜態(tài)測(cè)試:潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài),工藝設(shè)備已安裝,室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。
(二)動(dòng)態(tài)測(cè)試潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。
潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測(cè),可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
二、空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試
(一)測(cè)試前的準(zhǔn)備
1、應(yīng)對(duì)潔凈室及其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)進(jìn)行徹底清潔。
2、采用光散射粒子計(jì)數(shù)器對(duì)高效空氣過濾器進(jìn)行檢漏測(cè)試。首先測(cè)定高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)靜壓箱內(nèi)(或風(fēng)管內(nèi))粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)應(yīng)為大于或等于30,000粒/升。如若不夠,可引入煙霧,然后開始檢漏。將粒子計(jì)數(shù)器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過濾器2–3厘米處,可以2~4厘米/秒的速度移動(dòng),對(duì)高效空氣過濾器整個(gè)斷面封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描。
當(dāng)粒子計(jì)數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認(rèn)為該處有明顯滲漏,必須進(jìn)行堵漏。
(二)測(cè)試內(nèi)容
1、總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空氣量、排風(fēng)量等;
2、潔凈室壓力值;
3、層流潔凈室斷面風(fēng)速和氣流流向;
4、潔凈工作區(qū)的潔凈度;
5、室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測(cè)試;
6、潔凈室內(nèi)噪聲。
(三)潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測(cè)試方法對(duì)于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計(jì)數(shù),宜采用光散射粒子計(jì)數(shù)法。對(duì)于粒徑大于或等于5微米的塵粒計(jì)數(shù)。也可采用濾膜顯微鏡計(jì)數(shù)法。光散射粒子計(jì)數(shù)法:
1、光散射粒子計(jì)數(shù)器采樣量100級(jí):每次采樣量大于或等于1升。l,000級(jí)-l0,000級(jí):每次采樣量大于或等于0.3升。100,000級(jí):每次采樣量大于或等于0.1升。對(duì)于100級(jí)潔凈室,宜采用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試;如果條件不具備時(shí),可采用每次采樣量不小于1升的粒子計(jì)數(shù)器。
2、采樣注意事項(xiàng):
(1)采樣管必須干凈,連接處嚴(yán)禁滲漏。
(2)采樣管的長度,應(yīng)根據(jù)儀器的允許長度。當(dāng)無規(guī)定時(shí),不宜大于1.5米。
(3)采樣管口的流速,宜與潔凈室斷面平均風(fēng)速相接近。測(cè)試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。
(4)采樣順序應(yīng)按含塵濃度從低到高進(jìn)行。
3、測(cè)點(diǎn)布置
(l)檢測(cè)在潔凈工作區(qū)內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)工藝無特殊要求時(shí),取樣高度宜為離地面1米
(2)層流潔凈室測(cè)點(diǎn)總數(shù)不小于20點(diǎn),測(cè)點(diǎn)間距為0.5~2.0米,粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)允許有一個(gè)點(diǎn)超過。水平層流潔凈室測(cè)點(diǎn)僅布置在第一潔凈工作區(qū)內(nèi)。
(3)亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)(附圖2)。每增加20-50平方米,增加3–5個(gè)測(cè)點(diǎn)。
4、數(shù)據(jù)整理
(1)每個(gè)測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)整理應(yīng)在測(cè)試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的條件下連續(xù)三次采樣,取其平均值,即為該點(diǎn)的實(shí)測(cè)數(shù)值。
(2)對(duì)于大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)確定:層流潔凈室取各測(cè)定點(diǎn)最大值,亂流潔凈室取各測(cè)點(diǎn)的平均值。
(四)正壓值測(cè)定應(yīng)采用精度可達(dá)0.01毫米水柱的微壓計(jì)。
三、動(dòng)態(tài)測(cè)試。在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測(cè)點(diǎn)的氣流上風(fēng)向進(jìn)行,測(cè)試方法同空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試。
]]>凈化空調(diào)也就是組合式空調(diào)機(jī),凈化空調(diào)能進(jìn)行空氣運(yùn)行制冷、干燥、加熱、加濕、混合、過濾凈化、消聲、輸送等處理過程,各 功能段組合靈活,可按使用場合要求任意多功能組合,能滿足各行業(yè)的空氣凈化,空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的需要 ,廣泛應(yīng)用于電子儀表、精密儀器制造、紡織、化織、卷煙、制藥、醫(yī)院手術(shù)室、食品、化妝品、核電 站、輕化工等行業(yè)作工業(yè)性空調(diào),也適用于影劇院、體育館、商店、餐館、賓館、辦公大樓等大中型公
共建筑作適應(yīng)性空調(diào)。
空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)通過一定的流速將灰塵送到過濾系統(tǒng)當(dāng)中,初級(jí)過濾器將5um以上大顆?;覊m留在過濾表 面,中效過濾器將1um-5um顆粒抓取,高效過濾器將0.3um-0.5um以上灰塵顆粒過濾,從而保證無塵車間等級(jí)!
無塵室空調(diào)特性:
微塵粒子(按等級(jí)要求)
溫度(22-23攝氏度DB),濕度(40-45%RH)
恒溫恒濕控制要求(正負(fù)0.1攝氏度,正負(fù)2%)
全外氣與高換氣次數(shù)(化學(xué)藥品,氣體,揮發(fā)溶劑)
全天候(24hr)運(yùn)轉(zhuǎn)(負(fù)荷大,備份機(jī)組)
氣流分布與控制
高能耗,高運(yùn)轉(zhuǎn)以及維修成本(1.4-1.9KW/m2)
空氣循環(huán)量計(jì)算:
1、依空氣換氣次數(shù)(ACH)
Q=V*ACH
(m3/hr)=(m3/次)*(次/hr)
(2)依氣流速度(Airvelocity)
Q=V*A
(m3/hr)=(m/s)*(m2)
循環(huán)風(fēng)量=風(fēng)速*面積(房間或回風(fēng)口)
2、依氣流速度(Airvelocity)
Q(立方米/hr)=v(m/s)*A(m2)
循環(huán)風(fēng)量=風(fēng)速*面積
(1)外氣量(Q1與Q2較大者)
Q1=制程排氣量(Qe)+間隙外洩量(Qi)+關(guān)門外泄量(Qd)
(2)外氣量=排氣量+10%排氣量(泄漏)+1%循環(huán)空氣量=8~10%循環(huán)空氣量
空調(diào)內(nèi)過濾網(wǎng)設(shè)計(jì)方案
AirFilter(空氣過濾器.濾網(wǎng))
初級(jí)濾網(wǎng)–外氣入口 (Pre-filter)(5um↑)
重?fù)魹V網(wǎng)–空調(diào)箱中 (MediumEfficiencyFilter’BagFilter) (1um↑)
高效率濾網(wǎng)–無塵室 (HighEfficiencyParticulateAirFilter’HEPA) (1um↓)
超高效率濾網(wǎng)–Class100↑ (UltraLowPenetrationAirFilter’ULPA) (o.5u↓)
空調(diào)凈化應(yīng)用
空調(diào)內(nèi)濾網(wǎng)及空調(diào)系統(tǒng)示意圖
根據(jù)行業(yè)制程的不同要求,產(chǎn)品對(duì)無塵等級(jí)的要求不同,對(duì)過濾器的選型也是不一樣的,不但要對(duì)應(yīng)過濾顆粒粒徑大小而設(shè)計(jì),還要考慮空氣過濾器中不同規(guī)格的參數(shù)比如初阻力,效率精度,流速等因素來設(shè)計(jì),選取相應(yīng)的過濾器。